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    真空旋轉涂膜機

    產品簡介

    VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

    產品型號:VTC-100PA
    更新時間:2022-11-21
    廠商性質:經銷商
    訪問量:1317
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    VTC-100PA真空旋轉涂膜機

    產品概述:

    VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

    主要特點:                    

    • 真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
    • 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
    • 根據樣件規格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
    • 設有12組程序,每組包含6個運行階段。
    • 電機啟動快速穩定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
    • 50W/24V 直流電機
    • 適于在Ar氣環境中工作(真空泵放置在手套箱外)

    參數:

    • 電機功率:50W/24V
    • 速度范圍:500-10000rpm
    • 程序運行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段
    • 增減速率設置范圍:100rpm/s-2000rpm/s
    • 時間范圍:0-60s
    • 吸盤:Φ19mm、Φ60mm

    進氣口:上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體,實現在氣氛環境下旋轉涂覆

    可選加熱部分:上蓋內部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數字溫控器控溫,高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。

    產品規格:

    • 尺寸:450mm×280mm×340mm;
    • 重量:20kg

     

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